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專利資訊
在光微影術中用於對準光罩的裝置
蘇斯微科印刷股份有限公司
申請案號
091132193
公告號
200300223
申請日期
2002-10-30
申請人
蘇斯微科印刷股份有限公司
發明人
尼可拉斯 梅亞
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G03F7/20
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