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半導體元件之洗淨水或浸漬水之製造裝置及洗淨或浸漬方法

ＮＥＣ電子股份有限公司

申請案號
091132280
公告號
200300130
申請日期
2002-10-31
申請人
ＮＥＣ電子股份有限公司
發明人
青木秀充
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

C02F1/68
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半導體元件之洗淨水或浸漬水之製造裝置及洗淨或浸漬方法 - 專利資訊 | NowTo 智財通