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專利資訊
保護膠片及附設保護膠片之光罩的製造方法
三井化學股份有限公司
申請案號
091132346
公告號
200406645
申請日期
2002-10-31
申請人
三井化學股份有限公司
發明人
藤田稔
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G03F7/20
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