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專利資訊
光阻體剝離方法
三菱瓦斯化學股份有限公司
申請案號
091132407
公告號
200300523
申請日期
2002-11-01
申請人
三菱瓦斯化學股份有限公司
發明人
清水英貴
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G03F7/42
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