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專利資訊
基板檢查裝置
奧林柏士股份有限公司
申請案號
091132539
公告號
200302345
申請日期
2002-11-04
申請人
奧林柏士股份有限公司
發明人
藤崎暢夫
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G01N21/88
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