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壓電致動器,微影裝置及裝置製造方法

ASML荷蘭公司

申請案號
091132667
公告號
200407657
申請日期
2002-11-06
申請人
ASML荷蘭公司
發明人
多明尼可斯 傑可柏 彼勒斯 艾利艾奈斯 富蘭肯
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

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