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專利資訊
光罩及使用此光罩製造半導體裝置之方法
海力士半導體有限公司
申請案號
091132691
公告號
200407677
申請日期
2002-11-06
申請人
海力士半導體有限公司
發明人
崔祥泰
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G03F7/20
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