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專利資訊
用於在一混合式晶片接合機中置換晶片載板之機構
F&K狄爾佛堤克波德工程股份有限公司
申請案號
091132807
公告號
200408036
申請日期
2002-11-07
申請人
F&K狄爾佛堤克波德工程股份有限公司
發明人
法哈德 法拉薩特
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/68
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