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專利資訊
雷射退火裝置及薄膜電晶體之製造方法
新力股份有限公司
申請案號
091133132
公告號
200304175
申請日期
2002-11-12
申請人
新力股份有限公司
發明人
今井裕
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/268
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