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專利資訊
基板表面洗淨液介質及洗淨方法
三菱化學股份有限公司
申請案號
091133367
公告號
200302272
申請日期
2002-11-14
申請人
三菱化學股份有限公司
發明人
森永均
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
C11D7/18
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