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專利資訊
CVD裝置、薄膜電晶體之製造方法、以及積體電路之製造方法
亞尼爾巴股份有限公司
申請案號
091134092
公告號
200300458
申請日期
2002-11-22
申請人
亞尼爾巴股份有限公司
發明人
佐藤正律
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
C23C14/22
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