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專利資訊
基板處理系統
東京威力科創股份有限公司
申請案號
091134095
公告號
200302540
申請日期
2002-11-22
申請人
東京威力科創股份有限公司
發明人
田上真也
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/68
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