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專利資訊
熱真空支撐設備
艾斯摩美國股份有限公司
申請案號
091134187
公告號
200302541
申請日期
2002-11-25
申請人
艾斯摩美國股份有限公司
發明人
湯姆 肯
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/68
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