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專利資訊
熱處理裝置
東京威力科創股份有限公司
申請案號
091134189
公告號
200303586
申請日期
2002-11-25
申請人
東京威力科創股份有限公司
發明人
齋藤孝規
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/324
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