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專利資訊
製程處理室之製程終點偵測方法
應用材料股份有限公司
申請案號
091134235
公告號
200302533
申請日期
2002-11-25
申請人
應用材料股份有限公司
發明人
拉斯曼繆路蓋許
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/66
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