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專利資訊
製造半導體裝置之方法
半導體能源研究所股份有限公司
申請案號
091134348
公告號
200305207
申請日期
2002-11-26
申請人
半導體能源研究所股份有限公司
發明人
新川悅子
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/28
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