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專利資訊
利用鋁作為銅擴散防止膜之形成方法
東部電子股份有限公司
申請案號
091134381
公告號
200409186
申請日期
2002-11-26
申請人
東部電子股份有限公司
發明人
李載皙
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/02
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