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專利資訊
具有靜電排放薄膜之半導體組件處理裝置
安堤格里斯公司
申請案號
091134460
公告號
200301009
申請日期
2002-11-27
申請人
安堤格里斯公司
發明人
桑吉夫 M 貝特
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L23/60
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