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達成高Q值和低插入損耗的薄膜體聲共振器之結構及製造程序
英特爾公司
申請案號
091134597
公告號
200301576
申請日期
2002-11-28
申請人
英特爾公司
發明人
王利朋
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L41/04
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