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專利資訊
使用白光干涉量度學之檢查系統及方法
半導體科技設備股份有限公司
申請案號
091134653
公告號
200300841
申請日期
2002-11-28
申請人
半導體科技設備股份有限公司
發明人
桑杰福 麥瑟
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G01N21/956
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