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雙醯亞胺化合物,使用該醯亞胺化合物之酸產生劑,抗蝕組成物,以及使用該組成物之圖案形成方法
和光純藥工業股份有限公司
申請案號
091134726
公告號
200301400
申請日期
2002-11-29
申請人
和光純藥工業股份有限公司
發明人
前澤典明
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G03F7/004
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