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乾蝕刻製程中抗腐蝕性佳之噴嘴頭及其抗腐蝕之方法

友達光電股份有限公司

申請案號
091134749
公告號
200408453
申請日期
2002-11-29
申請人
友達光電股份有限公司
發明人
施政隆
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

B05B1/00
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乾蝕刻製程中抗腐蝕性佳之噴嘴頭及其抗腐蝕之方法 - 專利資訊 | NowTo 智財通