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專利資訊
具橫向可平移之光軸之粒子束鏡頭設計
西歐士校正電子光學系統有限公司
申請案號
091134750
公告號
200304161
申請日期
2002-11-29
申請人
西歐士校正電子光學系統有限公司
發明人
史蒂芬 烏勒曼
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01J37/145
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