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沈積在一處理室側壁上之一層之厚度監視配置

億恆科技ＳＣ３００公司

申請案號
091135149
公告號
200410309
申請日期
2002-12-04
申請人
億恆科技ＳＣ３００公司
發明人
活特　坎吉德
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

H01L21/20
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沈積在一處理室側壁上之一層之厚度監視配置 - 專利資訊 | NowTo 智財通