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專利資訊
光阻剝離用組合物及使用其之半導體裝置之製造方法
新力股份有限公司
申請案號
091135152
公告號
200304586
申請日期
2002-12-04
申請人
新力股份有限公司
發明人
岩元勇人
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G03F7/42
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