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專利資訊
電漿處理室之嵌入環
應用材料股份有限公司
申請案號
091135219
公告號
200301002
申請日期
2002-12-04
申請人
應用材料股份有限公司
發明人
馬紹銘
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/68
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