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專利資訊
在晶圓上沈積薄膜之裝置
圓益IPS股份有限公司
申請案號
091135231
公告號
200410311
申請日期
2002-12-04
申請人
圓益IPS股份有限公司
發明人
朴永薰
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/20
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