IP
NowTo 智財通
EN
首頁
/
專利資訊
半導體基板之化學溶液處理設備
NEC電子股份有限公司
申請案號
091135236
公告號
200300978
申請日期
2002-12-04
申請人
NEC電子股份有限公司
發明人
渡邊香織
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/304
查看申請人公司資訊
本站使用 Cookie 進行流量分析,以提供更好的使用體驗。
拒絕
接受
×
半導體基板之化學溶液處理設備 - 專利資訊 | NowTo 智財通