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專利資訊
用於操作基板載具之機械手臂之自動校準方法與用於執行該方法之夾具
應用材料股份有限公司
申請案號
091135488
公告號
200301535
申請日期
2002-12-06
申請人
應用材料股份有限公司
發明人
傑佛利C 哈德俊
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/68
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