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使用固定研磨物以平坦化含ＶＩＩＩ族金屬表面的方法

麥肯科技有限公司

申請案號
091135562
公告號
200301518
申請日期
2002-12-09
申請人
麥肯科技有限公司
發明人
剛都　沙伯德
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

H01L21/304
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使用固定研磨物以平坦化含ＶＩＩＩ族金屬表面的方法 - 專利資訊 | NowTo 智財通