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專利資訊
自動檔案輸入之遮罩量測方法
中芯國際集成電路製造(上海)有限公司
申請案號
091135820
公告號
200410079
申請日期
2002-12-11
申請人
中芯國際集成電路製造(上海)有限公司
發明人
何基宏
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G06F17/00
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