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專利資訊
去除光阻物質之洗滌液及形成光阻劑圖案之方法
海力士半導體股份有限公司
申請案號
091135939
公告號
200410055
申請日期
2002-12-12
申請人
海力士半導體股份有限公司
發明人
李根守
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G03F7/32
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