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專利資訊
供量測一物層之所需特性之方法及量測裝置
飛思卡爾半導體公司
申請案號
091135975
公告號
200305961
申請日期
2002-12-12
申請人
飛思卡爾半導體公司
發明人
卡爾 莫茲
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/66
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