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環狀機構及使用該環狀機構之電漿處理裝置

東京威力科創股份有限公司

申請案號
091135997
公告號
200302035
申請日期
2002-12-12
申請人
東京威力科創股份有限公司
發明人
輿石公
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

H05H1/02
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環狀機構及使用該環狀機構之電漿處理裝置 - 專利資訊 | NowTo 智財通