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週期性結構中局部誤差之光學檢知方法

巴斯勒公司

申請案號
091136143
公告號
200301355
申請日期
2002-12-13
申請人
巴斯勒公司
發明人
洛克斯
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

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週期性結構中局部誤差之光學檢知方法 - 專利資訊 | NowTo 智財通