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測量晶圓之零傾斜角度的方法

中芯國際集成電路製造（上海）有限公司

申請案號
091136202
公告號
200410351
申請日期
2002-12-13
申請人
中芯國際集成電路製造（上海）有限公司
發明人
楊金龍
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

H01L21/66
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測量晶圓之零傾斜角度的方法 - 專利資訊 | NowTo 智財通