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專利資訊
測試蝕刻速率的結構及方法
財團法人工業技術研究院
申請案號
091136356
公告號
200411792
申請日期
2002-12-17
申請人
財團法人工業技術研究院
發明人
邱景宏
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/66
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