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專利資訊
基板保持裝置、曝光裝置及裝置製造方法
尼康股份有限公司
申請案號
091136372
公告號
200301538
申請日期
2002-12-17
申請人
尼康股份有限公司
發明人
近藤 誠
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/68
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