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專利資訊
直寫式奈米微影印刷之固態特徵圖樣化
美國西北大學
申請案號
091136422
公告號
200305057
申請日期
2002-12-17
申請人
美國西北大學
發明人
薛德A 米爾金
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G03F7/00
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