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專利資訊
以聚焦離子束進行表面分析的方法
友達光電股份有限公司
申請案號
091136691
公告號
200411794
申請日期
2002-12-19
申請人
友達光電股份有限公司
發明人
蔡和廷
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/66
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