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具有氮／碳穩定化氧析出物成核中心之理想氧析出矽晶圓及其製造方法

ＭＥＭＣ電子材料公司

申請案號
091137013
公告號
200305932
申請日期
2002-12-23
申請人
ＭＥＭＣ電子材料公司
發明人
暮爾　史丹格諾　魯希安諾
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

H01L21/20
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具有氮／碳穩定化氧析出物成核中心之理想氧析出矽晶圓及其製造方法 - 專利資訊 | NowTo 智財通