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專利資訊
應用於電弧離子蒸鍍多層薄膜之改良裝置
財團法人工業技術研究院
申請案號
091137203
公告號
200411081
申請日期
2002-12-24
申請人
財團法人工業技術研究院
發明人
呂明生
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
C23C20/08
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