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專利資訊
在高產量反應器內之複合式基板加工系統及方法
尖端科技材料公司
申請案號
091137309
公告號
200301540
申請日期
2002-12-25
申請人
尖端科技材料公司
發明人
麥克 J 坦奎
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/68
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