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專利資訊
預熱反應室
友達光電股份有限公司
申請案號
091137343
公告號
200411774
申請日期
2002-12-25
申請人
友達光電股份有限公司
發明人
鄭國順
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/324
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