IP
NowTo 智財通
EN
首頁
/
專利資訊
於化學機械研磨時朝下施力於晶圓上之方法與設備
蘭姆研究公司
申請案號
091137408
公告號
200305211
申請日期
2002-12-25
申請人
蘭姆研究公司
發明人
安東尼 德拉 爾拉
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/304
查看申請人公司資訊
本站使用 Cookie 進行流量分析,以提供更好的使用體驗。
拒絕
接受
×
於化學機械研磨時朝下施力於晶圓上之方法與設備 - 專利資訊 | NowTo 智財通