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專利資訊
靜電夾具
三菱重工業股份有限公司
申請案號
091137465
公告號
200411803
申請日期
2002-12-26
申請人
三菱重工業股份有限公司
發明人
吉田和人
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/68
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