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專利資訊
基板之銅層的研磨方法
不二越機械工業股份有限公司
申請案號
091137745
公告號
200301519
申請日期
2002-12-27
申請人
不二越機械工業股份有限公司
發明人
宮入 廣雄
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/304
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