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專利資訊
晶圓傳送設備
昶驎科技股份有限公司
申請案號
092100075
公告號
200412641
申請日期
2003-01-02
申請人
昶驎科技股份有限公司
發明人
沈基盟
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/68
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