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專利資訊
製造退火晶圓的方法
希特隆股份有限公司
申請案號
092100194
公告號
200402806
申請日期
2003-01-06
申請人
希特隆股份有限公司
發明人
文英熙
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/324
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