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專利資訊
電漿處理裝置以及電漿處理方法
阿爾普士電氣股份有限公司
申請案號
092100349
公告號
200302683
申請日期
2003-01-08
申請人
阿爾普士電氣股份有限公司
發明人
仲野陽
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H05H1/00
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